99.5٪ توليد الأكسجين PSA عالية النقاء لشركة تصنيع أشباه الموصلات

مولد الأكسجين PSA(مولد الأكسجين المضغوط) هي معدات نظيفة رئيسية في صناعة تصنيع أشباه الموصلات.يتم تنظيفها بعمق من خلال مجاريف جزئية مزدوجة الطبقة (مجاريف جزئية عادية + مجاريف جزئية عالية النقاء) لإنتاج أوكسجين عالي النقاء بتركيز أكثر من 99.5٪

يحتوي على مزايا أساسية مثل النقاء المستقر، والنظافة العالية، والتشغيل الموثوق به، وصفر انبعاثات الملوثات،والذي يمكنه تلبية المتطلبات الصارمة لتنقيّة الأكسجين والنظافة في عمليات مثل الأكسدة وتحليل الأفلام الرقيقة أثناء تصنيع أشباه الموصلات. كالتكوين أعلى مستوىنقاء مصنع الأكسجين، يتم السيطرة على الشوائب (النيتروجين والرطوبة و ثاني أكسيد الكربون ، الخ) في الأكسجين المنتج من هذا الجهاز تحت مستوى ppm ،تجنب انخفاض في إنتاج الرقائق الناجم عن نقاء الأكسجين غير الكافيإنه أساس أساسي لا غنى عنه لتزويد الأكسجين لتصنيع أشباه الموصلات.

تمثل تصنيع أشباه الموصلات قمة التصنيع الدقيق ، مع عمليات الشريحة التي دخلت مقياس نانومتر (5nm ، 3nm). يمكن لأي شوائب صغيرة أن تسبب حلقات قصيرة في الشريحة ،تدهور الأداءيستخدم الأكسجين بشكل رئيسي في العمليات الأساسية مثل الأكسدة (تشكيل طبقات العزل SiO2) وتحلل البخار الكيميائي (CVD) في تصنيع أشباه الموصلات.نقاء الأكسجين يؤثر مباشرة على توحيد سمك طبقة العزل، الالتصاق الفيلم، والأداء الكهربائي الشريحة.

الأكسجين الصناعي العادي (93٪ نقاء) يحتوي على شوائب مثل النيتروجين والرطوبة التي يمكن أن تشكل عيوب على سطح الشريحة ، مما يؤدي إلى انخفاض 10-20٪ في الإنتاج ؛ على النقيض من ذلك ، 99.5٪ من الأكسجين عالي النقاء يمكن أن يسيطر على محتوى الشوائب تحت مستوى ppm، وتجنب بشكل فعال تشكيل العيوب وضمان انتاج رقاقة تبقى مستقرة فوق 90 ٪.مولد الأكسجين PSAيمكن أن يزيل بشكل عميق الشوائب مثل النيتروجين والرطوبة وثاني أكسيد الكربون من الهواء.نقاء مصنع الأكسجيندقة التحكم تفوق بكثير دقة معدات توليد الأكسجين التقليدية، وتلبي بالكامل متطلبات عملية تصنيع أشباه الموصلات.

وبالإضافة إلى ذلك ، فإن تصنيع أشباه الموصلات لديه متطلبات عالية للغاية لتنظيف الأكسجين. يجب أن يستوفي غاز الإخراج تصنيف غرفة نظيفة من الفئة 100 (لا يزيد عن 100 جزيئ ≥ 0.5μm لكل قدم مكعب من الهواء).مولد الأكسجين PSAمجهزة بنظام تصفية غاز عالي الكفاءة يمكنه تصفية الجسيمات الصغيرة في الأكسجين ، مما يتجنب تلوث الجسيمات على سطح الشريحة ويضمن مزيدًا من جودة الشريحة.

عند الشراءمولد الأكسجين PSA، يجب على شركات أشباه الموصلات الالتزام بأربعة مبادئ أساسية: "النقاء المؤهل، والتوافق مع الغرف النظيفة، والاستقرار والموثوقية، ومؤهلات الموردين الكاملة".

• من حيث النقاء ، من الضروري اختيار معدات ذات نقاء الأكسجين ≥ 99.5٪ ومحتوى الشوائب تلبية متطلبات عملية أشباه الموصلات ،وتتطلب من الموردين تقديم تقارير اختبار الطرف الثالث (مثل SGS)، ITS)
• من حيث التوافق مع الغرف النظيفة ، من الضروري تأكيد أن نظافة الغازات الخارجة للمعدات هي ≥ الفئة 100 وتلبية غلاف المعدات لمتطلبات تركيب الغرف النظيفة.
• من حيث الاستقرار والموثوقية ، يجب إعطاء الأولوية للمنتجات التي تستمر في التشغيل باستمرار ≥8000 ساعة / عام والضمان على المكونات الأساسية ≥3 سنوات
• مؤهلات الموردين أمر حاسم.محطة الأكسجين القائمة على PSAمؤهلات الإنتاج، وشهادة نظام إدارة الجودة ISO9001، وشهادات صناعة أشباه الموصلات ذات الصلة (مثل شهادة SEMI) ،وطلب منهم تقديم حالات ناجحة في صناعة أشباه الموصلات

يجب أن تلبي خدمة ما بعد البيع المتطلبات العالية لصناعة أشباه الموصلات. يجب أن يكون الموردون قادرين على توفير الدعم الفني على مدار الساعة، والصيانة المنتظمة في الموقع،وتوفير قطع غيار سريعة لضمان التشغيل المستقر للمعدات على المدى الطويل.

بفائدة نقائها العالية بنسبة 99.5٪،مولد الأكسجين PSAأصبحت مقياساً لتوفير الأكسجين النظيف في تصنيع أشباه الموصلاتوأداء التشغيل المستقر يمكن أن توفر دعم موثوقة إمدادات الأكسجين لعمليات أشباه الموصلات، مما يجعلها معدات أساسية لشركات تصنيع الرقائق لتحسين الإنتاج وخفض التكاليف.